Jena, Friedrich-Schiller-Universität - Beschaffung Inspektionsmikroskop für PICs

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines Inspektionslichtmikroskops für die Analyse von Lack- und Wellenleiterstrukturen auf photonischen integrierten Schaltkreisen (PICs). Das Mikroskop soll eine schnelle Inspektion zwischen Prozessschritten ermöglichen und die Messung von Längen sowie die Identifizierung von Fehlern wie Partikel- und Schichtdefekten erlauben. Die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 sind mindestens zu erfüllen. Die Lieferfrist beträgt maximal 12 Wochen nach Zuschlagserteilung und Auftragseingang.