IOF Jena - Zerodur Plansubstrate mit beidseitiger Politur

Gefordert werden Zerodur Plansubstrate mit beidseitiger Politur für den Auftraggeber IOF in Jena. Das Material muss zwingend DK0 sein. Die Vorder- und Rückseite muss eine P4 Politur aufweisen, und die Ebenheit muss einen rms-Wert von kleiner als 35nm aufweisen. Es gibt sechs Lose mit unterschiedlichen Stückzahlen.