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Archiv: Frist abgelaufen am 05.10.2026

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Abgeschlossen

Heidelberg - Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD/ICP)

Auftraggeber:
Universität Heidelberg
Region:
Heidelberg, DEU
Veröffentlicht:
25.08.2026
Angebotsfrist
05.10.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Zuschlag

Auftragnehmer
Oxford Instruments GmbH
Bekanntgegeben am
06.10.2026

Beschreibung

Die Universität Heidelberg schreibt die Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD/ICP) aus. Die Anlage dient der Herstellung von dünnen Schichten mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Wesentliche Liefergegenstände sind das PECVD-System mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle, inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme. Die maximale Finanzmittelgrenze liegt bei 806.000 EUR (inkl. MwSt.).

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DE125

Details

Angebotsfrist
05.10.2026
Referenznummer
Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 7219263985
Adresse
Universität HeidelbergSeminarstraße 269117 HeidelbergDEU

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