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Heidelberg - Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD/ICP)

12 Tage verbleibend
Universität Heidelberg
Heidelberg, DEU
Veröffentlicht: 25.08.2026

Zeitplan

Bekanntmachung25.08.26
HeuteHeute23.09.26
Angebotsfrist05.10.26

Beschreibung

Die Universität Heidelberg schreibt die Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD/ICP) aus. Die Anlage dient der Herstellung von dünnen Schichten mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Wesentliche Liefergegenstände sind das PECVD-System mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle, inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme. Die maximale Finanzmittelgrenze liegt bei 806.000 EUR (inkl. MwSt.).

Lose (1)

Los Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE125

Details

Angebotsfrist
05.10.2026
Referenznummer
Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 7219263985
Adresse
Universität HeidelbergSeminarstraße 269117 HeidelbergDEU

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