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Hamburg, DLR - Konfokalmikroskop mit Weißlichtinterferometer für Ionenfallenchip-Herstellung

Abgeschlossen
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)
Hamburg, DEU
Veröffentlicht: 05.04.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung05.04.24
Angebotsfrist07.05.24

Beschreibung

Beschaffung eines Konfokalmikroskops mit integriertem Weißlichtinterferometer für die Charakterisierung von Mikrostrukturen im Reinraum des Innovationszentrums Hamburg. Das Gerät dient der Qualifikation und Kontrolle von Prozessen zur Abscheidung und Strukturierung von Dünnschichten auf Substraten bis 150 mm Durchmesser. Lieferumfang beinhaltet Lieferung (DAP), Abnahme, Inbetriebnahme, Schulung sowie Service- und Wartungsleistungen.

Lose (1)

Los 2024/GV 7843638

Konfokalmikroskopie IZHH

Klassifizierung

CPV-Codes

38510000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE600

Details

Angebotsfrist
07.05.2024
Referenznummer
2024/GV 7843638
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)Linder Höhe51147 KölnDEU

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