Halle (Saale), Martin-Luther-Universität - Ersatzbeschaffung UHV-Manipulator für MBE-Anlage
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Zeitplan
Beschreibung
Beschaffung eines Ultrahochvakuum (UHV)-Manipulators für die Molekularstrahlepitaxy (MBE)-Anlage der Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg. Der Manipulator muss an einen CF-63 Flansch passen und über X-, Y- und Z-Bewegung (mind. 12 mm X/Y, mind. 100 mm Z) sowie eine differentiell gepumpte Rotationsplattform verfügen. Die Genauigkeit der Einstellung soll für XY besser als 4 μm und für Z besser als 6 μm sein. Eine kompakte Bauweise wird bevorzugt. Die Ausführung soll schnellstmöglich erfolgen.
Lose (1)
Ersatzbeschaffung eine UHV-Manipulators für die Molekularstrahlepitaxy (MBE)-Anlage
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