Archiv: Frist abgelaufen am 27.03.2024
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Abgeschlossen
Die Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. in Villingen-Schwenningen beschafft eine Anlage für die Atomlagenabscheidung (ALD). Die Anlage dient der präzisen Abscheidung von Dünnschichten auf atomarer Ebene und muss für die Bearbeitung von 100, 150 und 200mm Wafern sowie kleiner Bauteile und 3D-Objekten geeignet sein. Die Anlage muss der beigefügten Spezifikation entsprechen.
ALD-Anlage
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