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Das Walther-Meißner-Institut (WMI) beabsichtigt die Beschaffung eines Reactive Ion Etching (RIE) Systems zur Herstellung supraleitender Quantenschaltkreise. Das System muss eine Vielzahl von Ätzprozessen und Prozessüberwachungsfähigkeiten ermöglichen, um die reproduzierbare Fertigung von Bauteilen höchster Qualität zu gewährleisten.
Reactive Ion Etching (RIE) System
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