Garching, Walther-Meißner-Institut - Anschaffung eines XPS/UPS-Systems

Das Walther-Meißner-Institut beabsichtigt die Beschaffung eines Röntgen-/Ultraviolett-Photoelektronenspektroskopie (XPS/UPS)-Systems zur Charakterisierung von metallischen, halbleitenden und isolierenden Dünnschichten sowie von Massivmaterialien. Dies umfasst die Analyse von Substratoberflächen, Oxidschichten (chemische Verschiebung, Valenzzustand), Bestimmung der Oxidschichtdicke mittels winkelaufgelöster XPS, Stöchiometrieanalysen und Tiefenprofilierung von Dünnschichtproben sowie die Messung der elektronischen Struktur. Das System soll eigenständig, aber auch in Verbindung mit einem bestehenden Ultrahochvakuum (UHV) MBE-PLD-Beschichtungssystem betrieben werden können, was einen schnellen und einfachen Probentransfer erfordert.