Fraunhofer IMWS Halle - SEM in-situ nanoindendation system (IMWS-12.1)

Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS in Halle beschafft ein SEM in-situ nanoindendation system (IMWS-12.1). Das System dient der fortschrittlichen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung, insbesondere für mikroelektronische Anwendungen, 3D-integrierte Architekturen, MEMS-Systeme und mikromechanische Teststrukturen. Es ermöglicht die nanomechanische Charakterisierung mit hoher lokaler Positioniergenauigkeit und kombiniert dies mit der Bildauflösung eines SEM. Die Option umfasst dynamisch-mechanische Analysen, einen hochmodernen PC mit grafischer Benutzeroberfläche, Kugeleindringkörper und eine 2-jährige Garantie.