Fraunhofer Gesellschaft - Upgrade Prozessüberwachungssystem mesc21-11

Die Fraunhofer Gesellschaft schreibt das Upgrade des bestehenden Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus-Topographiemesssystem, Seriennummer 700259) am Standort Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5, aus. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handhabungssystem für Wafer in einer separat abgeschlossenen Umgebung. Das System kann Wafer von einem SEMI 300 mm FOUP zum bestehenden Messgerät handhaben und 200 mm Wafer in einem geeigneten Adapter einführen, um die Verarbeitung auf Standard 300 mm Werkzeugen zu ermöglichen. Es kann 200 mm Wafer im Adapter in einen SEMI Standard 300 mm FOUP handhaben.