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Fraunhofer-Gesellschaft - Trockenätzcluster

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
DEU
Veröffentlicht: 07.02.2024

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Zeitplan

Bekanntmachung07.02.24
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein Trockenätzcluster. Das Los umfasst die Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten, das Ätzen weiterer Metalle (wie Pt, Hf, W, Ge, Ni, einsilizidierte Ni) sowie das anisotrope Ätzen von SiO2 und Si3N4.

Lose (1)

Los LOT-0000

Trockenätzcluster - PR624203-2790-W

Klassifizierung

CPV-Codes

22520000Druckerzeugnisse & Medien

NUTS-Codes

DE252

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
PR624203-2790-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 22894990
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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