Fraunhofer-Gesellschaft - Rasterelektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl

Die Fraunhofer-Gesellschaft beabsichtigt die Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops mit integrierter fokussierter Ionenstrahl-Funktionalität (FIB SEM) und energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) für das Fraunhofer ISE. Hauptanwendungsbereiche sind die Aufnahme von SEM-Bildern, die Präparation von Querschnitten und Lamellen mittels FIB für die Transmissionselektronenmikroskopie, die Erstellung von 3D-Tomogrammen sowie die Anfertigung von Elementkarten.