Fraunhofer-Gesellschaft, Duisburg - Optisches Messtool (IMS-03)

Beschaffung eines optischen Messtools (IMS-03) für die Fraunhofer-Gesellschaft in Duisburg. Das System dient der Charakterisierung optischer Schichten für quasi-monolithisch integrierte Chiplets. Gefordert ist eine spektroskopische Ellipsometrie im Wellenlängenbereich von 300 nm - 1700 nm mit einer spektralen Auflösung unter 5 nm. Das System muss 200-mm-Wafer vollautomatisch bearbeiten können und eine Offline-Software für Materialmodellierung und Datenanalyse beinhalten. Die Vertragslaufzeit ist nicht spezifiziert.