Fraunhofer-Gesellschaft, Dresden-Moritzburg - BEoL Layer Transfer, vollautomatisch

Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt eine vollautomatische BEoL Layer Transfer Maschine aus. Die Maschine dient dem Ablösen von Halbleiterwafern mit einer Dicke von weniger als 20 µm von Trägerwafern mittels IR-Laser. Der Prozess umfasst das Laden und Entladen von Filmrahmen, die mechanische Vorausrichtung, das Lesen der Wafer-ID und die Laserbehandlung. Ein hoher Durchsatz wird durch parallele Verarbeitungsschritte erreicht. Die Software ermöglicht die Programmierung von Aktionsabläufen und Rezepturen für Forschung und Entwicklung.