Fraunhofer-Gesellschaft, Dresden-Moritzburg - BEOL Belichtungssystem, vollautomatisch

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein vollautomatisches 300-mm-i-Line-Belichtungssystem mit großem Bildfeld für die BEOL-Lithografie. Das System soll ultra-hochdichte BEOL-Strukturen im Sub-µm-Bereich für Verdrahtungen und Verbindungen auf der Vorder- und Rückseite für 2,5D/3D-QMI- und Chiplet-Integration ermöglichen. Es zielt auf Auflösungen von deutlich unter 800 nm L/S ab und bietet eine Overlay-Genauigkeit von <100 nm. Optionale Features wie IR-basierte Ausrichtung auf der Rückseite und Vorausrichtungs Korrektur sind erwünscht.