Lieferung eines Hochtemperatur-Kammerofens - Aachen
- Auftraggeber:
- RWTH Aachen University
- Region:
- Aachen, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 25.08.2025
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Abgeschlossen
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt die Beschaffung eines Inline XPS/XRF (IPMS-CNT03.1) für den Standort Dresden aus. Das Gerät ist ein Ultrahochvakuum-Röntgenphotoelektronenspektrometer zur Charakterisierung von dünnen Filmen und Multilayern auf Silizium-Wafern (300 und 200 mm Durchmesser) und wird in-line im Reinraum eingesetzt. Es verfügt über eine monochromatische Röntgenquelle, Sputter- und winkelaufgelöste XPS sowie Ladungskompensation.
Inline XPS/XRF (IPMS-CNT03.1) - PR930836-2480-P
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