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Abgeschlossen

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - Inline 300 mm Full Wafer XRR Analysegerät

Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Dresden, DEU
Veröffentlicht:
28.02.2025
Angebotsfrist
01.04.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Ausschreibung für ein Inline 300 mm Full Wafer Röntgendiffraktometer (XRR) für die Analyse von Halbleiterproben in Reinraumumgebung. Das Gerät muss für Beugungs- und Reflektometriemessungen geeignet sein und über einen vollautomatischen Loadport sowie notwendige Subsysteme verfügen. Optional werden ein zweiter Loadport, In-plane- und 1D-Detektoren, Software zur Korngrößenanalyse und eine verlängerte Gewährleistung angeboten.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    Inline 300 mm full wafer XRR (IPMS_CNT07.1) - PR878911-2480-P

Klassifizierung

CPV-Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DED21

Details

Angebotsfrist
01.04.2025
Referenznummer
PR878911-2480-P
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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