Fraunhofer-Gesellschaft, Dresden - Analytic Prober (IPMS-MRS11.4) für Halbleiterwafer

Beschaffung eines automatisierten Wafer Probers (Analytic Prober, Modell IPMS-MRS11.4) für elektro-optische Tests von MEMS- und OLED-Halbleiterwafern sowie nackten Dies (Chiplets) in einer CMOS-kompatiblen Reinraumumgebung (Klasse 4 EN ISO 14644-1). Das Gerät muss ausreichend Platz für die präzise Platzierung optischer Messgeräte über dem DUT bieten. Optional sind erweiterte Funktionen für Wafer Chuck, Probe Card Inspection, automatische Beladung von 200mm/300mm Wafern unterschiedlicher Dicke sowie manuelle Bestückung von Pocket-Wafern mit Chip-Alignment und eine erweiterte Garantie von 24 Monaten verfügbar.