Fraunhofer-Gesellschaft, Berlin - Resist/Polymer Coater (IZM-09.1)

Ausschreibung für ein automatisiertes Resist Processing System mit vier Nassprozessmodulen, sechs Hotplate-Modulen, zwei Lösemittelplatten und einer HMDS-Dampfplatte. Das System muss für 200mm, 150mm und 100mm Wafer geeignet sein und optionale Features wie die Verarbeitung von Formmassenmaterialien bis 900µm Dicke und die Handhabung von verzogenen Wafern (bis 2mm Verzug) unterstützen. Die Software soll die vorbeugende Instandhaltung unterstützen und netzwerkfähig sein.