Fraunhofer-Gesellschaft - ALD-Anlage für Metalloxidschichten, Perowskit-Solarzellen

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht eine ALD-Anlage zur Abscheidung von Metalloxidschichten für die Entwicklung von Perowskit-Solarzellen. Die Anlage soll die Abscheidung von SnOx, Al2O3 und optional TiO2 und ZnOx auf Wafern der Größe 166x166 mm bis 210x210 mm ermöglichen. Ein Durchsatz von mindestens 10 M12-Wafern pro Stunde für eine 20 nm dicke SnOx-Schicht bei 80°C ist gefordert. Die Probenhandhabung muss in inerter Atmosphäre (Glovebox) erfolgen, und die Abscheidung soll thermisch mit Wasserdampf erfolgen. Eine flexible Abscheidetemperatur (Raumtemperatur bis 200°C) und die Möglichkeit zur Abscheidung dotierter Metalloxide sind ebenfalls wichtig. Die Anlage soll über mindestens zwei Precursor-Bubbler verfügen und für Forschungs- und Entwicklungszwecke geeignet sein.