Frankfurt (Oder), IHP GmbH - Leibniz-Institut - Halbautomatischer Wafer-Prober für 200 mm Wafer

Beschaffung eines halbautomatischen Wafer-Probersystems mit integriertem Charakterisierungssystem zur elektrischen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Der Leistungsumfang umfasst Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Anwenderschulung. Das System muss für DC-I/V-, C-V-, C-f-, C-t- sowie Niederfrequenz-Impedanzmessungen bis 10 MHz geeignet sein.