Frankfurt (Oder), IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik - Halbautomatisches HF-Messsystem bis 250 GHz

Die IHP GmbH schreibt ein halbautomatisches 300-mm-HF-Messsystem für On-Wafer-Messungen bis 250 GHz aus. Das System soll über eine integrierte kontrollierte Trockenatmosphäre zur Vermeidung von Kondensation verfügen und eine definierte Schnittstellenarchitektur zur Integration optionaler thermischer Spannfutter aufweisen. Es muss automatische Erkennung von Wafergrößen sowie einen Präzisions-XY-Tisch mit einem Verfahrbereich von mindestens 310 x 310 mm und einen Präzisions-Z-Tisch mit einem Verfahrbereich von mindestens 30 mm bieten. Die Angebotsfrist endet am 16.07.2026.