Frankfurt (Oder), IHP GmbH - Leibniz-Institut - 200 mm Semi-Automatic RF Probe System

Die IHP GmbH in Frankfurt (Oder) vergibt ein 200 mm Semi-Automatic RF Probe System für On-Wafer-Messungen bis 250 GHz. Das System soll über eine integrierte kontrollierte Trockenatmosphäre zur Vermeidung von Kondensation verfügen und eine Schnittstellenarchitektur für optionale Thermal Chucks bieten. Es unterstützt automatische Erkennung von Wafergrößen (150 mm, 200 mm) und Dies bis 5x5 mm. Die Präzisions-XY- und Z-Achsen sowie die Theta-Achse und der kontrollierte Kontaktmechanismus müssen hohe Wiederholgenauigkeit und Genauigkeit aufweisen. Eine integrierte Vibrationsisolierung und ein Nivelliertisch sind ebenfalls Teil der Anforderungen.