Lieferung eines induktiv gekoppelten optischen Emissionsspektrometers - Hamburg
- Auftraggeber:
- BVC Behörde für Justiz und Verbraucherschutz
- Region:
- 00000 Hamburg, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 06.08.2024
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Abgeschlossen
Die EPFL beabsichtigt die Beschaffung einer manuellen Bank für den Solvent-Lift-Off-Prozess für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) in Lausanne. Der Prozess soll auf einer 25-Wafer-Kassette (bis 150 mm) mit 4 Bädern durchgeführt werden. Anforderungen umfassen einfache Bedienung, Verwaltung (Rezeptverwaltung), Wartung, geringen Bedarf an Abgas-, Stromleistung und Chemikalien sowie hochwertigen Support und Ersatzteilverfügbarkeit.
Eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off
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