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EPFL, Lausanne - Manuelle Bank für Solvent-Lift-Off

Abgeschlossen
Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) Center of MicroNanoTechnology (CMi)
Lausanne
Veröffentlicht: 28.06.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung28.06.24
Angebotsfrist06.08.24

Beschreibung

Die EPFL beabsichtigt die Beschaffung einer manuellen Bank für den Solvent-Lift-Off-Prozess für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) in Lausanne. Der Prozess soll auf einer 25-Wafer-Kassette (bis 150 mm) mit 4 Bädern durchgeführt werden. Anforderungen umfassen einfache Bedienung, Verwaltung (Rezeptverwaltung), Wartung, geringen Bedarf an Abgas-, Stromleistung und Chemikalien sowie hochwertigen Support und Ersatzteilverfügbarkeit.

Lose (1)

Los 283845-

Eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

Details

Angebotsfrist
06.08.2024
Plattform
TED

Kontaktinformationen

Ansprechpartner
Dr. Philippe Flückiger
Telefon
0216931111
Adresse
Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) Center of MicroNanoTechnology (CMi)Bâtiment BM - Station 17 LausanneCHE

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