CNC-Industrierobotersystem - Stade
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Region:
- Stade, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 14.10.2024
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Abgeschlossen
Lieferung eines flexibel einsetzbaren Hochtemperaturofens in Forschungs- und Entwicklungs-Ausführung für das ISFH in Emmerthal. Der Ofen soll industriellen Anlagen ähneln und für Prozesse wie Oxidation, Bor- und Phosphordiffusion sowie dotierte LPCVD-Polysilizium-Abscheidung geeignet sein. Er muss im Tagesschicht-Modus betrieben werden können und über Nacht in einen energiesparenden Standby-Modus überführbar sein.
Lieferung eines Hochtemperaturofens
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