Duisburg - Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Die Universität Duisburg-Essen erneuert und erweitert eine MOVPE-Anlage (Aixtron, Seriennummer CS17580) für die Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen. Erneuert werden die Prozesspumpe, der Showerhead Gaseinlass und 4 Rückschlagventile. Die Erweiterung umfasst Leitungen für Triethylboran und Ethen, inklusive Anpassungen am Gasversorgungssystem. Die Leistung wird als Werkvertrag vergeben und beinhaltet Lieferung, Montage, Integration, Inbetriebnahme und Funktionsprüfung.