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Abgeschlossen

Duisburg - Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Auftraggeber:
Universität Duisburg-Essen
Region:
Duisburg, DEU
Veröffentlicht:
08.09.2026
Angebotsfrist
30.10.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Universität Duisburg-Essen erneuert und erweitert eine MOVPE-Anlage (Aixtron, Seriennummer CS17580) für die Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen. Erneuert werden die Prozesspumpe, der Showerhead Gaseinlass und 4 Rückschlagventile. Die Erweiterung umfasst Leitungen für Triethylboran und Ethen, inklusive Anpassungen am Gasversorgungssystem. Die Leistung wird als Werkvertrag vergeben und beinhaltet Lieferung, Montage, Integration, Inbetriebnahme und Funktionsprüfung.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte51000000Installation & Montage
NUTS-Codes
DEA12

Details

Angebotsfrist
30.10.2026
Referenznummer
61-26 SF
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 2514111691
Adresse
Universität Duisburg-EssenForsthausweg 247057 DuisburgDEU

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