Dresden, NaMLab gGmbH - Lieferung und Inbetriebnahme von Vakuumprozesskammern (VRTP)

Die NaMLab gGmbH in Dresden beabsichtigt die Lieferung und Inbetriebnahme von zwei neuen Vakuumprozesskammern (VRTP) zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben. Die Kammern müssen Aufheiz- und Abkühlrampen bis 1200°C ermöglichen und für die Bearbeitung von dünnen Schichten sowie mikro-/nanoelektronischen Bauteilen unter CMOS-Standards geeignet sein. Eine Kammer soll Wafer bis 200 mm, die andere Wafer/Proben bis 150 mm verarbeiten können, wobei unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllt werden müssen. Die Installation erfolgt im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) in der Nöthnitzer Straße 64a, 01187 Dresden.