Dresden, Max-Planck-Institut - Beschaffung Reactive Ion Etching System

Das Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe in Dresden schreibt die Beschaffung, Lieferung und Installation eines Reactive Ion Etching Systems (RIE) aus. Das System wird für die präzise Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich, insbesondere für die Bearbeitung zweidimensionaler Materialien, benötigt. Es muss ein kontrolliertes, anisotropes Ätzen mit hoher Selektivität und Prozessstabilität ermöglichen und für die beschädigungsfreie Strukturierung empfindlicher Proben sowie die Übertragung nanoskaliger Maskenmuster geeignet sein.