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DLR Hamburg - Plasmaverascher für Ionenfallenchips

Abgeschlossen
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)
Hamburg, DEU
Veröffentlicht: 07.02.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung07.02.24
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Beschaffung eines Plasmaveraschers für den Reinraum des Innovationszentrums Hamburg zur Herstellung von Quantencomputern mittels Ionenfallen-Technologie. Die Anlage dient zur Entfernung von Fotolackmasken und zur sanften Plasma-Vorbehandlung von Substraten bis 150 mm Durchmesser. Der Auftrag umfasst Lieferung, Einbringung, Abnahme, Inbetriebnahme, Schulung sowie Service und Wartung.

Lose (1)

Los 2024/GV 7580110

Plasmaverascher IZHH

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE600

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
2024/GV 7580110
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)Linder Höhe51147 KölnDEU

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