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DLR - Chemisch-mechanisches Poliersystem (CMP) für Innovationszentrum Hamburg
Abgeschlossen
Deutsches Zentrum für Luft-und Raumfahrt e.V. (DLR)
DEU
Veröffentlicht: 18.12.2023
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Zeitplan
Bekanntmachung18.12.23
Angebotsfrist25.01.24
Beschreibung
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) benötigt eine Anlage zum chemisch-mechanischen Polieren (CMP) zur Planarisierung und Politur von Substratoberflächen. Die Anlage soll Silizium, Dielektrika und Metalle auf Wafern bis 150 mm Durchmesser bearbeiten können. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme, Schulung sowie Service und Wartung der CMP-Anlage.
Lose (1)
Los 05_2023_DLR_E15554428
CMP-Anlage
Klassifizierung
CPV-Codes
42000000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE600
Details
- Angebotsfrist
- 25.01.2024
- Plattform
- Bund, TED
- Quelle
- Originalquelle
Kontaktinformationen
- Telefon
- 0228 99 610 1234
- Adresse
- Deutsches Zentrum für Luft-und Raumfahrt e.V. (DLR)Linder Höhe51147 KölnDEU
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