Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart - Positionierungssystem für Mikromagnetisierungsprozesse

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) in Stuttgart schreibt ein Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse aus. Das System dient der Erprobung eines Magnetisierungskonzepts und ermöglicht die mikrometergenaue Positionierung von magnetischen Schreibköpfen auf Dünnfilmschichten. Es umfasst eine XYR-Stage für laterale Translation und Rotation sowie eine Z-Achse für vertikale Annäherung und Kontaktherstellung. Aufnahmen für zwei weitere Schreibköpfe sind vorzusehen, die eine Abdeckung eines 150 mm Wafers ermöglichen.