Entwicklung und Installation einer Targetplattform - Dresden
- Auftraggeber:
- Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
- Region:
- Dresden, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 19.11.2024
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Abgeschlossen
Die Technische Universität Chemnitz beabsichtigt die Lieferung und Installation eines thermischen Rastersondenlithographiesystems zur direkten Erzeugung von Strukturen in Lacken mit lateralen Abmessungen von 25nm oder kleiner. Das System soll Standardstrukturierungsverfahren wie Lift-off oder Ätzen ermöglichen. Die Vergabe erfolgt elektronisch über die Plattform eVergabe.de.
Lieferung und Installation eines thermischen Rastersondenlithographiesystems
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