Chemnitz, Fraunhofer ENAS - Komplettsystem zur optischen Abstandserfassung

Fraunhofer ENAS in Chemnitz beschafft ein Komplettsystem zur optischen Abstandserfassung für die Prozess- und Ergebnisdatenerfassung bei der mikrotechnologischen Fertigung von Kohlenstoffnanoröhren-basierten Feld-Effekt-Transistoren. Das System dient dem Ausbau der Live-Messdatenerfassung während der Kohlenstoffnanoröhren-Abscheidung und umfasst optische Komponenten sowie zugehörige Peripheriegeräte wie Polarisationseinheiten, eine Kamera und einen Abstandssensor.