Archiv: Frist abgelaufen am 21.02.2025
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Abgeschlossen
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer 3x2 Zoll MOVPE/MOCVD Anlage zur Abscheidung von epitaktischen Beta-Ga2O3 Schichten. Die Anlage wird frei Verwendungsstelle geliefert und einer technischen Abnahme unterzogen. Schulung und Bereitstellung der notwendigen Dokumentation sind ebenfalls Teil des Auftrags.
OV_LK_3x2 Zoll Metallorganische Gasphasenepitaxie-Anlage (MOVPE / MOCVD)
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