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TU Dresden - Planung und Bau Entstaubungsanlage für Center for Green Circular Economy (CircEcon)
1.Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Hoyerswerda, DEU
€
Frist: Nicht verfügbar
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH in Berlin benötigt eine ALE-Trockenätzanlage für aktuelle Forschungs- und Entwicklungsarbeiten. Die Anlage muss hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich für III-V-Halbleiter ermöglichen. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation, Wartung und Support der Anlage.
FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
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