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Abgeschlossen

Berlin, Ferdinand-Braun-Institut - ALE-Trockenätzanlage für III-V-Halbleiter

Auftraggeber:
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Region:
Berlin, DEU
Veröffentlicht:
11.09.2026
Angebotsfrist
13.10.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH in Berlin benötigt eine ALE-Trockenätzanlage für aktuelle Forschungs- und Entwicklungsarbeiten. Die Anlage muss hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich für III-V-Halbleiter ermöglichen. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation, Wartung und Support der Anlage.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Klassifizierung

CPV-Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE300

Details

Angebotsfrist
13.10.2026
Referenznummer
FBH-2026-0023
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Ansprechpartner
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Telefon
+49 30 63922600
Adresse
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikGustav-Kirchhoff-Straße 412489 BerlinDEU

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