Aachen, AMO - Laserdirektschreiber für maskenlose Lithographie

Die AMO in Aachen benötigt einen Laserdirektschreiber zur Erweiterung ihres Anlagenspektrums für maskenlose Lithographieverfahren im Rahmen eines Forschungsprojektes. Das Gerät muss kurzfristig lieferbar sein und spezifische Leistungsanforderungen gemäß Leistungsbeschreibung erfüllen, darunter die Belichtung von Substraten mit Dicken zwischen 100 µm und 12 mm sowie lateralen Abmessungen von 1x1 cm² bis zu einem Durchmesser von 200 mm. Der Laser soll eine Wellenlänge von 375 nm haben, eine Auflösung von mindestens 300 nm bei Schreibgeschwindigkeiten von 2 mm²/min und bei relaxierten Anforderungen über 100 mm²/min erreichen.